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  • ¡¤ work size : 3,100 * 5,500 mm
  • ¡¤ Á¤¹Ðµµ : 2§­

SLIT NOZZLE

¤ýSPECIFICATIONS

  • ¢¡ Æò¸éµµ : 5 §­ ¢¡ Ç¥¸éÁ¶µµ : Ra=0.02nm
  • ¢¡ ÁøÁ÷µµ : 5 §­ ¢¡ ÃÖ´ë»çÀÌÁî : 3000mm

    BASE PLATE

  • ¡¤ ÆòÇà & Æò¸é : 2 §­

    VACUUM PLATE

  • ¡¤ Æòźµµ : 20 §­
  • ¡¤ Á¤¹Ðµµ : 1.5 §­

    VACUUM PLATE

  • ¡¤ Æòźµµ : 20 §­
  • ¡¤ Á¤¹Ðµµ : 1.5 §­